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10-24
一、自動(dòng)勻膠顯影機(jī)工作原理:物理與化學(xué)過程的精密協(xié)同自動(dòng)勻膠顯影機(jī)通過涂膠、熱處理、顯影三大核心步驟,完成光刻工藝中光刻膠的均勻涂覆、固化及圖案顯影,其原理可拆解為以下環(huán)節(jié):涂膠工藝滴膠與旋涂:高精度泵將定量光刻膠滴至晶圓中心,真空吸盤固定晶圓后高速旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速0-10,000rpm,精度±1rpm),利用離心力使光刻膠均勻鋪展,形成納米級膠膜。例如,中國電科45所DYX-640S機(jī)型通過動(dòng)態(tài)旋涂法,實(shí)現(xiàn)4/6英寸晶圓膠膜厚度波動(dòng)≤3%。去邊清洗:邊緣光刻膠清除功...
10-23
光刻技術(shù)作為一種微納米加工技術(shù),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微機(jī)電系統(tǒng)、光學(xué)元件加工等領(lǐng)域。在光學(xué)元件的制造過程中,實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)起到了至關(guān)重要的作用,尤其是在高精度、微細(xì)結(jié)構(gòu)的制作上。它作為一種小型、精密的光刻設(shè)備,通常用于科研和小規(guī)模生產(chǎn),尤其是在光學(xué)元件的設(shè)計(jì)、開發(fā)與驗(yàn)證階段具有不可替代的應(yīng)用價(jià)值。光刻技術(shù)是利用紫外線、可見光或激光等光源,通過光掩模將光信號(hào)投射到光刻膠上,經(jīng)過顯影處理,形成具有微米或納米尺度圖形的技術(shù)。在光學(xué)元件制造中,實(shí)驗(yàn)室光刻機(jī)利用其精確的圖形轉(zhuǎn)移能力,可...
10-21
鈣鈦礦太陽能電池(PerovskiteSolarCells,PSCs)因其高理論光電轉(zhuǎn)換效率(單結(jié)鈣鈦礦電池認(rèn)證效率已達(dá)26.1%)、低制備成本及可調(diào)帶隙(1.2~2.3eV)成為下一代光伏技術(shù)的核心方向。其中,鈣鈦礦吸光層(如MAPbI?、FAPbI?、Cs?.??FA?.??Pb(I?.??Br?.??)?)的質(zhì)量(結(jié)晶度、缺陷密度、界面鈍化)直接決定了載流子傳輸效率與器件穩(wěn)定性。??閃蒸成膜儀(FlashEvaporationDeposition,FED)??通過高溫快...
10-10
臺(tái)式勻膠機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、汽車、電子、精密制造等行業(yè)的設(shè)備,主要用于在基片表面均勻涂布薄層膠液。隨著工業(yè)自動(dòng)化的推進(jìn),因其精確度高、效率高、操作簡單等特點(diǎn),逐漸成為許多生產(chǎn)線中的核心設(shè)備。通過對臺(tái)式勻膠機(jī)的優(yōu)勢進(jìn)行深入解析,可以更好地理解其如何提高生產(chǎn)效率。一、高精度涂布,保證產(chǎn)品一致性顯著的優(yōu)勢之一是其涂布精度。它能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化控制,通過高精度的傳感器和控制系統(tǒng)對膠液的涂布量、涂布速度、涂布壓力等參數(shù)進(jìn)行精確調(diào)節(jié),確保每一批次產(chǎn)品的涂層厚度和均勻性都達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要...
9-17
電解雙噴儀是一種廣泛應(yīng)用于材料表面處理的設(shè)備,尤其在金屬表面改性、清洗、拋光等方面具有重要作用。它通過電解反應(yīng)原理,將電解質(zhì)通過兩個(gè)噴嘴噴灑到處理表面,同時(shí)通過電流的作用使得表面產(chǎn)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng),達(dá)到清潔或表面改性的效果。下面將詳細(xì)介紹電解雙噴儀在材料表面處理中的應(yīng)用。(1)金屬表面清洗在金屬表面清洗中應(yīng)用廣泛,特別是對于鋁、銅、不銹鋼等金屬材料。由于金屬在加工過程中容易產(chǎn)生氧化層、油污和污垢,傳統(tǒng)的清洗方法往往無法清除這些污染物。而它通過電解反應(yīng),可以有效去除金屬表面的氧...
9-16
實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)涂膜機(jī)通過精密機(jī)械控制、自動(dòng)化涂布參數(shù)調(diào)節(jié)與多系統(tǒng)協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)基材表面薄膜的均勻制備,其核心原理可拆解為以下技術(shù)環(huán)節(jié):一、核心驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):電機(jī)與傳動(dòng)控制電機(jī)驅(qū)動(dòng):采用步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)作為動(dòng)力源,通過數(shù)字信號(hào)精確控制涂布頭的運(yùn)動(dòng)速度(如0-180mm/s可調(diào))和方向。例如,某型號(hào)涂膜機(jī)通過伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)涂布速度誤差傳動(dòng)機(jī)構(gòu):進(jìn)口鋼桿或高精度導(dǎo)軌替代傳統(tǒng)皮帶傳動(dòng),減少機(jī)械振動(dòng)對涂布均勻性的影響。如某機(jī)型采用中國臺(tái)灣上銀導(dǎo)軌,配合線性運(yùn)動(dòng)模塊,使涂布頭移動(dòng)平穩(wěn)性提升50%...
9-3
磁控濺射鍍膜設(shè)備是一種常用于薄膜制備的物理氣相沉積(PVD)方法,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、能源以及其他領(lǐng)域的薄膜材料的生產(chǎn)。其原理是通過磁場增強(qiáng)的濺射效應(yīng),使靶材表面的原子或分子脫離并沉積在基片表面,從而形成薄膜。磁控濺射技術(shù)具有很多優(yōu)點(diǎn),如薄膜質(zhì)量高、沉積速率可控、適用材料廣泛等,因此成為現(xiàn)代薄膜制備中關(guān)鍵的一項(xiàng)技術(shù)。磁控濺射鍍膜設(shè)備主要由靶材、電源、基片及磁場等部分組成。磁控濺射的工作原理是利用高能粒子轟擊靶材,靶材表面的原子或分子被激發(fā)并脫離,形成濺射粒子,經(jīng)過電場加速后...
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